2026

筑牢半導體廠務根基

廢水處理系統的自動化升級方案

方案背景

一座12英寸晶圓廠每天產出數萬片晶圓，而支撐這條產線穩定運行的，除了光刻機、刻蝕機這些明星設備，還有隱藏在廠務區的廢水處理系統。酸堿廢水、有機廢水、含氟廢水分類處理后達標排放，pH、COD、SS等指標需要24小時連續監控，一旦控制中斷導致加藥過量或排放超標，直接面臨環保處罰和產線停調風險。廢水處理是半導體廠務的關鍵環節之一，網絡可靠性與控制智能化缺一不可。

半導體廢水處理面臨三大痛點：

01、多池聯動復雜：

酸堿、有機、含氟廢水分類處理，pH、COD等指標需24小時連續監控。

02、擴建割接困難：

晶圓廠多為分期建設，傳統架構下新增節點往往需要停機集中施工，靈活度受限且調試時間緊張。

03、安全要求嚴苛：

環保數據需實時上傳，控制一旦中斷將面臨環保處罰與停產風險。

網絡層：2OT+2IT雙環網冗余架構

針對分期擴建與高可靠性需求，方案采用雙網冗余架構，實現網絡全骨干支撐。

01 OT層瞬時自愈：

采用赫思曼MRP環網技術，鏈路故障自愈時間小于等于200ms，避免加藥泵、曝氣風機因通信丟失誤動作。

02 在線無感擴展：

廢水處理子系統引入赫思曼Sub-Ring子環技術，最大支持8層嵌套，允許在不中斷現有業務的情況下，在線接入新增控制節點，完美適配分期建設。

控制層：EC300，恰到好處的高性價比之選

對于廢水處理的液位控制、PID調節等工藝，EC300系列PLC在性能與成本間取得了極佳平衡。

01 極簡空間：

采用刀片式緊湊設計，尺寸為100乘53乘80mm，最大可擴展64個模塊，一臺主機柜即可覆蓋大型廢水站數百點信號，大幅節省控制柜空間。

02 原生免網關：

原生支持EtherCAT、EtherNet IP、OPC UA，完成與赫思曼交換機兼容性測試。PLC與交換機間無需額外協議轉換網關，數據路徑更短、故障點更少。

03 高國產化：

高國產化率產品為批量部署提供更具競爭力的價格。    

智能升級：EX邊控，六位一體創新架構

當系統面臨智能化改造時，EX邊控系列打破傳統，用一臺設備替代了傳統的PLC主機、觸摸屏、協議網關、工控機組合。

01 內置AI算法庫：

●預測性維護，提前數周預警水泵軸承磨損或葉輪堵塞。 

●能耗優化，根據進水負荷動態調節曝氣量與加藥比，降低水耗、電耗。

●異常預警，在pH、COD數據越限前提前干預。 

02 數據不出廠：

所有AI算法在本地運行，配合90倍數據壓縮技術及256G SSD，本地可留存數月環保監測數據，既滿足溯源又保障數據安全。

03 無線接入：

支持4G與WiFi，完美解決室外泵站、水池等布線困難場景。

從單點設備到系統級閉環

01、控制層

依托PLC與邊緣控制產品，實現加藥、輸送、處理等關鍵工藝的穩定控制，并為智能優化和預測性運維預留升級空間。

02、通信層

通過高可靠工業以太網交換機和智能網管平臺，保障數據穩定傳輸，實現網絡狀態可視化與故障快速定位。

03、平臺層

結合工業網絡安全產品，構建OT與IT融合下的安全防護體系，保障生產數據與系統運行安全。

附：產品選型推薦 

從設備選型、系統集成到運維服務，海得控制以統一技術體系和專業服務團隊，為客戶提供廢水處理自動化全生命周期支持，助力企業實現更安全、更高效、更智能的運營管理！

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