前言

在鋰電池前段極片制造工序中，正、負極片普遍采用激光刻槽工藝，該工藝不僅可提升電解液浸潤性以提高生產效率，還能增強電芯充放電性能。

刻槽屬于精密微結構，其三維尺寸和形貌精度會直接影響成品品質，開展精密三維量測，是把控鋰電池生產良率的關鍵環節。

檢測難點

（1）三維信息采集受限

激光刻槽為窄深式微結構，2D視覺僅可識別槽口平面特征，無法獲取槽深、槽底等三維數據，難以排查隱性尺寸缺陷。

（2）測量精度要求嚴苛

極片刻槽深度一般為10μm-30μm，寬度約100μm，微小尺寸要求檢測設備在Z方向測量精度高，否則無法測量刻槽的深度信息。

（3）結構與工況易造成光路遮擋

極片刻槽結構狹長，若采用激光三角測量易產生光路陰影，槽底測量受限；且極片幅面寬大，在線檢測過程中會存在角度偏移、輕微起伏等問題，對檢測設備的兼容性提出較高要求。

埃科光電解決方案：線光譜共焦傳感器

針對極片刻槽精度要求高、結構狹長、工況復雜等檢測難點，埃科線光譜共焦傳感器憑借亞微米級精度、零陰影掃描與出色兼容角度等多項優勢，有效化解檢測痛點，為鋰電池制造工序進行精密把關。

高分辨率成像 亞微米級精度

線光譜共焦技術通過分析被測物反射回來的單色光波長信息，計算得到物體的高度信息，從而實現高精度、強抗干擾的三維測量。

線光譜共焦傳感器SG4025輪廓數據數量達到4096個，且X軸輪廓數據間隔小至2.5μm，Z軸重復精度0.25μm，具備亞微米級測量精度，可精準測量刻槽深度信息，生成高密度真實三維點云數據。

同軸線共焦 無懼光路遮擋

埃科光電線光譜共焦傳感器采用同軸光學設計，測量光和反射光沿相同的路徑傳播，可規避刻槽深徑比結構帶來的光路遮擋問題，直達槽底完成形貌采集。

大角度鏡面兼容 適配復雜工況

得益于同軸光路設計與大數值孔徑光學設計，SG4025鏡面兼容角度達到±30°，能夠應對深孔、縫隙、彎曲等復雜形貌的表面檢測，有效適配極片在線檢測過程中的小幅姿態偏移，精準識別極片刻槽結構形貌特征，滿足復雜工況帶來的嚴苛應用要求。

產品參數

檢測效果

結語

線光譜共焦傳感器SG4025為極片刻槽檢測打造穩定高效的三維量測方案，助力新能源高端制造實現精度、效率與良率的全面提升。

埃科光電深耕高端工業傳感賽道，面對鋰電池極片制造、電芯合成、模組PACK各制程，已構建起覆蓋全工藝流程的視覺檢測解決方案。未來，我們將繼續攻堅前沿技術“無人區”，攜手產業鏈伙伴開創中國智能工業高質量發展新局面。

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