應(yīng)用介紹

【行業(yè)】半導(dǎo)體

【設(shè)備】AMHS

應(yīng)用場(chǎng)景

上料時(shí)的wafer有無(wú)判斷，映射出wafer位置后方便后續(xù)機(jī)械手的抓取。

解決課題

1、由于設(shè)備內(nèi)部安裝空間緊湊且機(jī)械手的承載能力有限，檢測(cè)模塊需要直接內(nèi)嵌安裝于Loadport的開(kāi)門(mén)執(zhí)行機(jī)構(gòu)或晶圓搬運(yùn)機(jī)械手的本體結(jié)構(gòu)中。

2、需要平等檢測(cè)不同材質(zhì)的晶圓，避免因材料特性差異導(dǎo)致的誤檢或漏檢。

價(jià)值提案

核心產(chǎn)品：光纖單元 E32、光纖放大器 E3NX-FA

■E32采用耐折彎結(jié)構(gòu)制造，至少100W次的彎曲壽命，非常適合mapping往復(fù)運(yùn)動(dòng)的檢測(cè)方式，防止長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行時(shí)的機(jī)械壽命發(fā)生斷線。

■E32備有3mm和4mm厚等各種安裝方式，易于設(shè)置在loadport開(kāi)盒機(jī)構(gòu)或者晶圓機(jī)械手臂上的薄型形狀，光軸的調(diào)整也非常簡(jiǎn)單（光纖頭光軸與定位基準(zhǔn)面的偏差僅為±0.1°Typ）。

■使用放大器S-TUNE智能調(diào)諧，快速設(shè)定光量和閾值，盡量減小對(duì)射光纖安裝時(shí)的對(duì)齊誤差，并且在具有透明度上的wafer也可以做到快速設(shè)定。

相關(guān)產(chǎn)品

光纖單元 E32

光纖放大器 E3NX-FA

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