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馬波斯丨Horizon上市: 新一代干涉測量控制器

馬波斯丨Horizon上市: 新一代干涉測量控制器

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馬波斯新推出先進的Horizon 干涉測量控制器,在半導體、3C(計算機,通信,電子消費)等其它需要納米級高精度測量的行業,這款光譜控制器無疑都是其理想的選擇。

Horizon的工作原理為干涉測量,分辨率高達納米級,不僅重復精度高,而且長期測量穩定性高。非接觸干涉測量,可以最大限度減少熱漂移和磨損,充分滿足晶圓檢測和平面度測量、光刻掩模找正以及微電子器件檢測的應用要求。

Horizon產品線柔性高,工作的波長范圍大并支持多種傳感器,在不同材質、表面狀況和環境限制條件下都可測量。也允許使用多個傳感器,可根據應用要求定制配置,同時保持理想的測量穩定性。

Horizon可充分滿足高科技行業對嚴苛精密度和可靠性質量標準的要求。精密加工需要納米級高分辨率,為此需要可靠的結構,以確保檢測方案可在測試和生產環境中平穩運行。而且充分滿足工業計量要求,可進行尺寸的線下和線上控制。

Horizon設有多種協議的模擬和數字輸入輸出接口,可以無縫集成工業自動化系統,通過現場總線和高速通信接口實時傳輸數據,保持多編碼器同步,全動態測量。主/從式的網絡結構可在多點測量應用中保持測量的同步。

Horizon可運行豐富的軟件套件,進一步提升使用體驗,例如MIC Tool高級參數配置軟件支持大量不同材質和幾何特征,SDK Tool軟件可集成OEM測量和自動化系統,而馬波斯Windows?版Quick SPC?軟件可進行全功能的統計過程控制并提供應用行業所專用的插件。

Horizon控制器旨在滿足高精度應用的嚴苛要求,實現生產過程的嚴格控制、有效降低廢品率和確保產品質量。該產品是半導體生產制程的理想選擇,包括晶圓找正、蝕刻深度的測量和缺陷檢測等,也是3C行業結構完整性分析和組件檢測的理想選擇。

隨著Horizon光譜控制器的上市,馬波斯得以為市場提供了行業領先的解決方案,該解決方案結合了精度、速度和穩健性,可滿足新一代制造業最苛刻的要求。


審核編輯(
唐楠
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