應用介紹

【行業】半導體

【設備】PVD/CVD/ALD

應用場景

晶圓在送入工藝腔室前的定位檢查

解決課題

1、傳輸腔室為真空環境，無法安裝傳統光電式傳感器，需要穿過玻璃對真空腔室內的晶圓進行檢測。

2、碳化硅晶圓、玻璃基板等物體因其高透明性，光線會直接穿透介質，并伴隨著外部玻璃的二次反射/折射干擾，造成有或無狀態差距較小，無法區分狀態。

價值提案

核心產品：智能激光傳感器 E3NC

■E3NC擁有CLASS 1級激光光源的傳感系統，可穿透玻璃進行檢測。

■針對高透明度的物體檢測（95%透明度薄膜）,E3NC采用多波長的激光光源，通過不同波段光線的穿透與反射特性差異對透明體進行檢測。

■E3NC備有網絡型放大器，方便導入并監控傳感器實時狀態，并進行批量快速的傳感器設置。

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