應用介紹

【行業(yè)】半導體

【設(shè)備】AMHS

應用場景

FOUP升降時的對中檢測

解決課題

因放卷升降的距離較長，有搖晃擺動的風險，必須通過長距離的穩(wěn)定監(jiān)測系統(tǒng)來實時追蹤并控制其運動狀態(tài)。

價值提案

核心產(chǎn)品：智能激光傳感器 E3NC-LH03

■E3NC檢測距離長達8m，能實現(xiàn)全量程檢測，保證升降時檢測的穩(wěn)定。

■E3NC采用同軸型檢測方式，即使有小幅度的偏擺，也可以根據(jù)需要進行設(shè)定，避免小幅度偏擺的誤判檢測。

■利用傳感器外部輸入功能或者網(wǎng)絡(luò)型功能，配合S-tune功能，使得OHT天車放卷較長時的調(diào)試便捷，節(jié)省在部署調(diào)機時的精力。

相關(guān)產(chǎn)品

智能激光傳感器 E3NC

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