使用同步輻射光和X 射線掩模板的L IGA 技術(shù)能夠制造大深寬比的三維微結(jié)構(gòu)。詳細(xì)討論了基于該技術(shù)的微行星齒輪減速器的設(shè)計(jì)和制造，包括微行星齒輪減速器的設(shè)計(jì)、微齒輪X 射線掩模板的CAD 技術(shù)、X 射線深層光刻、微齒輪的微電鑄和微復(fù)制，以及微行星齒輪減速器的微裝配。目前已經(jīng)得到了金屬鎳的厚度為400Lm 的太陽輪、行星輪，厚度為200 Lm 的固定內(nèi)齒輪、旋轉(zhuǎn)內(nèi)齒輪，其齒數(shù)分別為15、11、36、39。用這些微齒輪裝配成了一臺模數(shù)為0.03 mm、減速比為44. 2、最大外徑為2 mm 的微行星齒輪減速器，并將其成功地應(yīng)用在直徑為2 mm 的電磁型微馬達(dá)上。
入網(wǎng)時(shí)間：2008-02-18
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轉(zhuǎn)換思路――談設(shè)備機(jī)構(gòu)改造兩例
胡波
入網(wǎng)時(shí)間：2007-12-19