光譜共焦傳感器是一種高精度、非接觸式的測量裝置,主要用于厚度和表面形貌檢測，在精密制造領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。然而，光譜共焦傳感器長期面臨技術(shù)壁壘與供應(yīng)鏈高度集中的挑戰(zhàn)。國際主流設(shè)備商雖占據(jù)先發(fā)優(yōu)勢，但其技術(shù)架構(gòu)與服務(wù)體系主要針對標(biāo)準(zhǔn)化場景，難以滿足中國精密制造業(yè)快速迭代的定制化需求。

埃科光電迎難而上，憑借深厚技術(shù)積累和強大研發(fā)實力，成功自研3D線光譜共焦傳感器SG系列，精準(zhǔn)匹配半導(dǎo)體、消費電子等行業(yè)的多樣化需求，助力中國精密制造業(yè)打破“卡脖子”困局，加速產(chǎn)線升級進程。

產(chǎn)品介紹

埃科線光譜共焦傳感器SG系列，基于同軸式光譜共聚焦技術(shù)開發(fā)而成，提供高達(dá)30KHz掃描速度，最大測量視野10.2mm，X方向分辨率可達(dá)1.9um，Z方向重復(fù)精度可達(dá)50nm，具有高精度、高速度、多功能、無接觸在線檢測等優(yōu)勢。

其成像原理可參考下圖：寬光譜線光源發(fā)出的復(fù)色光（白光）通過色散透鏡，將不同顏色的光聚焦到軸上不同位置；照射到待測物表面的光發(fā)生反射，只有在待測物表面處聚焦的反射光（單色）可以最大程度通過狹縫被光譜儀探測到；光譜儀測量反射光的波長，由此可以計算出待測物到色散透鏡的距離，得到物體的高度信息。最后，通過高速掃描結(jié)合物體運動，即可實現(xiàn)物體表面3D成像。

產(chǎn)品優(yōu)勢

超高精度，亞微米級解析

SG系列提供超高分辨率，輪廓線點數(shù)最高4096個；點間隔小，X方向分辨率可達(dá)到1.9μm，Z方向重復(fù)精度可達(dá)50nm，能夠精確捕捉微小細(xì)節(jié)，為深凹槽、凸點等亞微米級精度的復(fù)雜表面檢測場景提供穩(wěn)定可靠的檢測數(shù)據(jù)。

極速響應(yīng)，實現(xiàn)產(chǎn)能躍升

SG系列產(chǎn)品的最高掃描速率達(dá)到30kHz，滿足高速在線檢測節(jié)拍，即使在最大測量范圍內(nèi)，SG1007的掃描速率仍可達(dá)到8.9kHz，確保在高速生產(chǎn)線上不遺漏任何細(xì)節(jié)。

超大視野，強材質(zhì)適應(yīng)性

埃科線光譜共焦傳感器提供出色的兼容角度（最大鏡面兼容角度±50°），能夠應(yīng)對多種復(fù)雜表面檢測，包括鏡面、曲面、透明材料等。其中，SG4025提供10.2mm的超大測量視野，2.5mm的Z軸測量范圍，能夠減少掃描次數(shù)，覆蓋較大的高度變化，提升檢測效率。

應(yīng)用領(lǐng)域

埃科線光譜共焦傳感器SG系列不受材質(zhì)、形狀和反光的影響，對于深孔、縫隙、彎曲、透明等多種形貌或材質(zhì)的表面測量有著高度的適應(yīng)性，全量程都可保持高精度及高橫向分辨率，廣泛適用于半導(dǎo)體、消費電子、PCB、動力電池等多個精密制造領(lǐng)域。

結(jié)語

下期我們將為您詳細(xì)介紹：埃科線光譜共焦傳感器在半導(dǎo)體、消費電子等行業(yè)的實際應(yīng)用，敬請期待！