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智能真空泵監測方案, 完美消除半導體制程風險

智能真空泵監測方案, 完美消除半導體制程風險

2020/6/28 15:00:03
  • 資料格式:

    pdf

  • 資料大小:

    0.54MB

  • 授權方式:

    免費

  • 簡介:

    半導體晶圓制程一刻千金,一旦生產設備發生故障或失誤,造成的損失難以估計。對此,固德科技與凌華連手推出真空泵智能監測解決方案,化解業界長期存在的痛點,協助提升產能與良率。


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