設備概況

該ALD鍍膜設備由4個爐管、龍門上下料結構、冷卻與緩存料架組成，龍門上下料負責將石英軸放入ALD爐管中，在ALD爐管內通過特定的溫度通入工藝氣體，一段時間后取出，在緩存料架中冷卻，冷卻完成后該工藝完成。

課題

1. PLC如何保證龍門機構運行的平穩度？

2. 如何保證龍門回原正常？

解決方案

PLC電子齒輪+扭矩平衡補償技術：

建立主虛軸，使用電子齒輪功能塊將兩軸進行同步，并實時計算兩軸的扭矩差值，根據差值調節齒輪比，來平和兩軸的扭矩，防止出現扭矩不平衡導致機構變形和損傷。由于龍門剛性較大，調整幅度不宜過大，并且不使用PID進行調節，也減少了調試時間，但需要注意補償的方向。

系統配置

使用PLC控制伺服同步完成龍門功能。

實現價值

【經營層】

■ 協同推進ALD設備性能優化與成本精益管理，支持客戶產品競爭力可持續發展。

【業務層】

■ 降低高精度定位系統對高端伺服硬件的依賴性，重構運動控制成本模型。

【現場層】

■ 龍門機構點動、定位及回原功能運行平穩，動作流暢不卡頓。

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