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RFID 重構半導體晶圓盒智能搬運

RFID 重構半導體晶圓盒智能搬運

2026/4/30 16:45:53

應用背景

在半導體晶圓制造向全自動化、高潔凈度、高精度轉型的進程中,AGV 搬運機器人已成為晶圓廠物料流轉的核心裝備。傳統 AGV 依賴光學識別、磁條導航等方式,在多層貨架、交叉軌道、潔凈車間等復雜場景中易出現定位偏差、識別失效、污染風險高等問題,難以滿足晶圓盒(FOUP)高速、穩定、安全的搬運需求。

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應用方案

通過RFID 無線射頻識別技術憑借非接觸識別、抗干擾強、定位精準、動態讀取等特性,完美適配半導體嚴苛生產環境,成為 AGV 實現精準導航、智能識別、自動調度的關鍵支撐,全面破解晶圓盒搬運中的定位不準、信息錯配、效率低下等痛點。

精準定位與路徑優化:

在半導體車間部署RFID載碼體作為軌道節點,AGV小車通過底部讀寫器實時采集位置信息,結合MES系統動態調整路徑,避免碰撞并優化運輸效率,誤差控制在±5mm內。

AGV識別并搬運晶圓盒:

在晶圓盒上安裝RFID標簽(如TI Tag標簽),AGV通過車載讀寫器非接觸式讀取晶圓盒的材質、規格等信息,實現自動化分類運輸,系統可記錄運輸時間、目的地等數據,并與生產管理系統聯動,優化庫存管理

多任務協同調度:

RFID系統與WMS聯動,根據載碼體記錄的物料優先級(如光刻膠需避光運輸)自動分配AGV任務,支持20+臺AGV同時作業,吞吐量提升300%。

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應用產品

CK-S650系列是一款基于射頻識別技術的低頻RFID標簽讀卡器,讀卡器工作頻率

134.2kHz。該讀卡器支持標準工業半導體SECS/HSMS協議和Modbus協議,同時還支持1和

N協議,方便用戶應用到半導體加工控制器或PLC等系統中。設備外置了三個模式開關選擇

器,方便用戶直接設置工作模式、通信速率以及設備地址。讀卡器內部集成了射頻部分通信

協議,用戶只需通過RS232/RS485串口通信接口或者以太網網口發送接收數據便可完成標簽的讀取操作,無需理解復雜的射頻通信協議。

 

審核編輯(
王靜
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