直線電機在芯片倒封裝設備中的應用
【摘要】:直線電機作為一種新型的驅動技術,在高端自動化領域占據著無比重要的作用。經常簡單描述為旋轉電機被展平,而工作原理相同。動子(forcer,rotor) 是用環氧材料把線圈壓縮在一起制成的.而且,磁軌是把磁鐵(通常是高能量的稀土磁鐵)固定在鋼片上。
與傳統驅動系統相比,直接驅動系統由于取消了中間傳動部件而具有更高的精度和更好的動態性能。因為采用直接驅動技術可以達到傳統驅動技術無法達到的生產效率。本文對我公司為電子部某所生產的半導體芯片倒封裝系統上的應用進行概述。
一、技術要求
電機需帶動負載在X軸方向往復運動,負載重量為3.3kg,總的有效行程應大于等于180mm。運動過程如下:正向運動過程分三個階段,第一個階段,負載在80ms的時間內走完90mm,第二個階段負載保持靜止280ms,第三個階段負載再用80ms的時間內走完剩下的90mm。正向的運動過程結束。此過程結束以后,負載靜止200ms,開始反向移動。反向移動的過程一次走完180mm的行程,時間為120ms,回到原點。在原點靜止100ms,開始下一個周期的過程,重復進行
二、計算過程
總行程s=180mm
第一階段加速距離s0=45mm 加速時間t0=40ms
運動時間t1=340ms 摩擦力f=1.65N
總周期t2=940ms 重量m=3.3kg
在所有的運動過程中,加速度在正方向的運動過程中達到最大。
,其中a1為加速度,得出a1=56m/s2 最大速度Vmax=a1?t0=2.24m/s
Fmax=ma1 f=187N
三、選型方案:
可選用IDAM的無齒槽電機ULIM系列
動子選擇ULIM5-3P-216-PRIM
定子選擇ULIM5-3P-360-SEK
ULIM5-3P-72-SEK
四、選型驗證
此電機為IDAM系列的無齒槽直線電機,具有高性能高動態等特點,電機無齒槽結構設計,無紋波力。
電機的連續推力為159N,峰值推力為460N
最大速度v=6.1m/s
根據計算,所有的運動過程中的最大加速度和最大速度都是在第一階段中達到最大。因此選型得出的電機推力和最大速度都滿足選型要求。
五、方案總結
隨著半導體行業的蓬勃發展,越來越需要更高效率更穩定的結構形式來滿足。直線電機的出現首先解決了老式的伺服電機 絲杠的結構形式中的速度以及精度問題。而更高的動態響應特征以及更具效能的電機設計都將對直線電機的要求越來越高。IDAM直線電機以其豐富的經驗,極致的做工,生產出了多種類型擁有卓越性能的直線電機。線圈結構均在真空下用環氧樹脂封裝,電路和磁路的設計也都體現了IDAM在這個領域中領先的地位。

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